Производството наредкоземен флуориде основно чрез следните методи:
Флуориране на флуороводородна киселина. При този метод сух водороден флуорид газ реагира с редкоземни оксиди при 650 до 700 градуса, за да се получи безводен с висока чистотаредкоземен флуорид. Този процес включва използването на хоризонтална стационарна флуорираща пещ, в която калцинираните редкоземни оксиди се пакетират в платинена лодка или никелов контейнер, поставят се в пещта, загряват се до 650 градуса или 700 градуса и се държат топли за 4 до 5 часа след пещта се запечатва, след това се охлажда до 300 градуса и след това се спира за HF газ и продължава да се охлажда до под 100 градуса за изпускане.
Флуориране с амониев бифлуорид. Този метод използва твърд амониев бифлуорид като флуориращ агент при условия на нагряване за директно флуориране на редкоземни оксиди в безводниредкоземен флуорид. Редкоземен флуориди излишък от 30% NH4F· След смесване, HF се опакова в платинена лодка, нагрява се до 300 градуса в нагревателна пещ и се държи инкубиран в продължение на 12 часа, за да реагира напълно.
Мокър процес. Този метод включва добавяне на флуорид (като флуороводородна киселина, амониев бифлуорид и др.) към разтвора на редкоземни съединения, промиване и изсушаване на получената утайка за приготвянередкоземен флуорид. Процесът включва бавно добавяне на флуороводородна киселина към разтвор на редкоземни метали и излишък от 5% до 10%, за да се позволи на флуорида на редкоземните метали да се утаи напълно при разбъркване. Полученият хидратиран флуорид се филтрува, промива се с чиста вода при 70 градуса и рН=5 до 6, след това се суши, натрошава се и се дехидратира под вакуум при 450 до 700 градуса и 1332.66x10-4Pa.