1. Материали и оборудване
Основни материали: Церий оксидПрах с чистота, по-голяма или равна на 99%, размер на частиците 1-5 мкм (груб размер на частиците 3-5 мкм за грубо полиране, фини частици размер 1-2 мкм за фино полиране)
Спомагателни материали:дейонизирана вода, рН регулатор (NaOH/лимонена киселина)
Инструменти и оборудване: полираща машина (ръчна или електрическа), полиуретан/вълна полираща подложка, бъркалка, тестова хартия за рН, чаша за измерване на чаша
2. Стандартни оперативни процедури
1. Предварителна обработка
Почистване на стъкло: обезмасляване с етанол/ацетон, ултразвуково почистване за отстраняване на частици с размер на микрона -
Приготвяне на полиране на течност: Разбъркайте в равномерна суспензия според съотношението на церей оксид: вода=1: 5-10, регулирайте рН до 9-11 (алкална среда ускорява химическата реакция)
2. Операция за полиране
Отстраняване на оборудване: Оправете мокра подложка за полиране, задайте скоростта, 100-300 об / мин за обикновена стъкло, 50-100 об / мин за оптично стъкло
Натоварване и полиране на материали: Наложете налягане 0,1-0,5MPa налягане, използвайте 8-образна траектория и попълнете материал на всеки 2-5 минути
Мониторинг на процесите: Наблюдавайте грапавостта с микроскоп (Target RA<1μm), and detect the surface error with interferometer (PV<λ>
3. Пост - обработка
Почистване: Изплакнете с дейонизирана вода → Избършете с изопропилов алкохол → Сух с горещ въздух под 60 градуса
Проверка на качеството: тест за осветление на светлината (нормално стъкло, по -голямо или равно на 90%), UV светлинна проверка за повърхностни дефекти
3. Общи проблеми
Повърхностно замъгляване: Слушанието е твърде концентрирана / полирането е твърде прекомерно, разредете суспензията и съкращавайте времето за фино полиране
Задълбочаване на драскотините: Примеси в подложката за полиране / неравномерно налягане, заменете полиращата подложка и калибрирайте системата за налягане
Ниска ефективност: отклонението / температурата на рН е твърде ниско, регулирайте pH до 10 и предварително загрейте суспензията до 25 градуса